MARS AP Batch-serien

CKD Technology har ikke bare helt nye maskiner på lager, tilgjengelig umiddelbart.

Vi har også detaljert utleievirksomhet, klar til å betjene dine spesifikke produksjonsbehov samtidig som du reduserer den opprinnelige investeringen din betydelig. Kontakt oss for mer informasjon.

CKD har et team av profesjonelle ingeniører, klare til å levere nøkkelferdige tjenester.

For handel med brukte maskiner, vennligst kontakt oss via Whatspp eller e-post.

------------------------------------------------------------------------------------

Oversikt

AP-seriens plasmabehandlingssystem er egnet for et bredt spekter av bruksområder, inkludert plasmarensing, overflateaktivering og adhesjonsforbedring. Disse systemene betjener sektorer som halvlederproduksjon, pakking og montering av mikroelektronikk, og produksjon av medisinsk og biovitenskapelig utstyr. AP-serien består av fire batch plasmabehandlingssystemer, og tilbyr små, mellomstore og store vakuumkammeralternativer for å imøtekomme kundebehov, alt fra FoU-miljøer til ulike produksjonsnivåer.

Funksjoner og fordeler med plasmabehandlingssystemer

● PLS-kontroller med berøringsskjerm-grensesnitt gir en intuitiv grafisk visning og sanntids prosessovervåking

● Fleksibel hylledesign gjør det mulig å behandle ulike delbærere i enten direkte eller nedstrøms plasmamodus

● 13,56 MHz RF-generator med automatisk impedanstilpasning sikrer uovertruffen prosessreproduserbarhet

● Proprietært programvarekontrollsystem genererer prosess- og produksjonsdata for statistisk prosesskontroll (SPC)

● Batch-stil drift; hver enhet er fullstendig selvforsynt og krever minimalt med gulvplass

● Pumpe, kammer, kontrollelektronikk og 13,56 MHz RF-generator er alle plassert i ett enkelt kabinett

Plasmabehandlingssystemmodeller og konfigurasjoner

AP-600 og AP-300 Benchtop plasmabehandlingssystemer:Plasmabehandlingssystemene AP-300 og AP-600 er benketoppenheter som er fullstendig selvforsynte og krever minimalt med plass på arbeidsbenken. Systemchassiset rommer plasmakammeret, kontrollelektronikken, en 13,56 MHz RF-generator og et automatisk kammertilpasningsnettverk (kun vakuumpumpen er plassert eksternt). Vedlikeholdstilgang er gitt via låste dører eller avtakbare paneler. Plasmakammeret støtter opptil syv flyttbare og justerbare drevne eller jordede hyller for å romme ulike deler, sammenstillinger og bærere, inkludert magasiner, brett og waferbåter. Vakuumplasmabehandlingssystemet rommer et bredt spekter av prosessgasser, inkludert argon, oksygen, hydrogen, helium og fluorholdige gasser. Begge modellene leveres som standard med to (2) massestrømkontrollere for optimal gasskontroll, med to (2) ekstra enheter tilgjengelig som alternativer (opptil fire totalt). Praktiske verktøytilkoblinger forenkler den periodiske kalibreringen som kreves under valideringsprosesser.

AP-1000 plasmabehandlingssystem:AP-1000-plattformen gir full tilgang foran, noe som forenkler betjening og vedlikehold av alle interne komponenter. Pumpen er montert på hjul for enkel fjerning. Plasmakammeret er konstruert av 11-gauge rustfritt stål med aluminiumsarmaturer, noe som sikrer eksepsjonell holdbarhet. Kammeret har flere flyttbare og justerbare hyller for å romme en rekke delbærere, inkludert magasiner, brett, wafere og waferbåter. Utstyrt med valgfrie HTP (High Throughput)-hyller, kombinerer AP-1000 plasmabehandlingssystemet påliteligheten og prosesskvaliteten til AP-1000-plattformen med de påviste fordelene ved Nordson MARCHs unike hylledesign. AP-1000 HTP optimerer bruken av reaktive ioner i RF-plasmaet, og forbedrer prosesseringsensartetheten samtidig som syklustidene reduseres. AP-1000 HTP-systemet støtter en rekke prosessgasser, som argon, hydrogen og helium. Den leveres som standard med fire gassmassestrømkontrollere for å sikre optimal gasskontroll. Magasiner med spor er plassert vertikalt inne i kammeret.

I tillegg kan slissede magasiner plasseres vertikalt inne i kammeret. Vanligvis har hvert magasin minst 20 blyrammer. AP-1000 plasmakammeret kan romme opptil 12 magasiner, avhengig av magasinstørrelsen.