Håndterer enkelt overflatebehandling for sensitive komponenter
- Kontakt egnet argon plasma
- Genererer ingen gnister, lysbuer, støv, UV-stråling eller overdreven varme
- Ingen risiko for elektrostatisk utladning (ESD) for sensitive elektroniske komponenter (f.eks. wafere, blyrammer, halvlederemballasjedeler)
| Grunnleggende parametere | MYS Plasma Surface Treatment System Platform |
| Strømkrav | 220 V, 2 kW, 10 A, 60 Hz |
| Gasskrav | 90 psi (6 bar) |
| Dimensjoner (B x D x H) | 1200 x 770 x 1400 mm |
| Vekt | 650 kg |
| Sertifisering | CE |
| Posisjoneringsnøyaktighet | XY: ±30 µm @ 3σ; Z: ±10 µm @ 3σ |
| X, Y, Z-akse repeterbarhet | XY: ±15 µm @ 3σ Z: ±5 µm @ 3σ |
| Maksimal hastighet | 1000 mm/s (X, Y) |
| Akselerasjon | 1,0 g |
| Kameraoppløsning | 640 x 480 piksler (0,3 MP) |
| Drivsystem | AC servo |
| Transportør type | Belte |
| Transportbåndets lastekapasitet | 3 kg |
| Minimum produktbredde | 50 mm |
| Maksimal produktbredde | 475 mm |
| Minimum produktlengde | 50 mm |
| Maksimal produktlengde | 350 mm |
| Programvare operativsystem | Windows 7 |
| Produkttykkelsesområde | 0,5–6 mm |
| Kommunikasjonsprotokoll | SMEMA |
| Plasmabehandlingsområde (D x B) | 475 x 350 mm |
|
|
|
| Grunnleggende spesifikasjoner | Plasmasystemkrav |
| RF-strøm | 600W ved 27,12 MHz |
| Primær plasmagass | Argon |
| Prosessgass | O2, N2 eller H2 (andre gjenstand for testing) |
| Gassforsyningstrykkområde | 30–100 psig (0,2–0,7 MPa) |
Adresse
5. etasje, bygning 2, nr. 182, Chang'an Xi'an Road, Chang'an Town, Dongguan, Guangdong-provinsen, Kina.
Tlf
E-post
